3D-Laserscanning Mikroskop

Mit Unterstützung des Europäischen Fonds für Regionale Entwicklung (EFRE) konnte am Lehrstuhl für Kolbenmaschinen und Verbrennungsmotoren am 28.8.2015 ein neues Laserscanning Mikroskop in Betrieb genommen werden.

Das 3D-Laser-Scanning-Mikroskop ist ein Lichtmikroskop, bei dem ein fokussierter Laserstrahl ein Präparat abrastert. Dadurch ist es in der Lage berührungslos Profil-, Rauheits- und Schichtdickenmessungen im Mikrometer-Bereich auf fast jedem Material durchzuführen.

Stärken das Messsystems sind:

  • Präzise Messungen dank Laserscanning
  • 3D-Messungen in Farbe
  • Rauheitsmessungen im Nanometerbereich
  • Tiefenscharfe Farbbilder

Dieses Gerätesystem verfügt über eine violetten Laser (λ = 408 nm, Laser-Klasse II) und ermöglicht Messungen mit einer Höhenauflösung in z-Richtung von bis zu 0,5 nm.

Keyence VK-X200

  • Optisches System: Konfokale Lochblende
  • Gesamtvergrößerung: bis zu 28.800 x (Vollbild auf 23 Zoll-Monitur)
  • Erfassbares Bildfeld: 11 - 5400 µm
  • Lasermessgeschwindigkeit: 4- 7900 Hz